关键词:
静电力
溯源
微纳力值
量值传递
柔性铰链
电容梯度
AFM悬臂梁
水黾
粘附力
摘要:
微纳力值的精确测量在微纳制造、材料科学、航空航天、生物医学等各微纳领域里得到了广泛的应用。为保证微纳计量领域的可持续发展,需建立统一的测量及溯源标准。本文在总结前人工作的基础上,优化了微纳力值测量系统的整体结构,选用带自重平衡的铰链作为其力值敏感元件,改进了基于双目视觉的内外电极同轴度测量与调整系统。为降低环境对测量结果的影响,本文研究了测量系统的抗干扰技术,并将差动法、牛顿插值法应用于测量过程中,完成了静电力与标准质量的比对。在力值标准传递方案的研究中,提出了一种平衡位置不变的悬臂梁刚度标定方法。探索了动态力值传感器可溯源的标定方案,建立了PVDF压电薄膜力值-电压数学模型,完成了相应的理论分析及实验验证。基于PVDF压电薄膜搭建了动态力值测量装置,完成了水黾腿以不同速度脱离水面时的粘附力值测量,解释了其刚毛结构的优越性。本文的主要工作如下:1.分析了微纳力值研究领域的国内外现状,优化了微纳力值测量系统的整体结构,搭建了包含力值传递与转化模块、内外电极同轴度监测模块、电容梯度测量模块、数据处理及力值计算模块在内的可溯源微纳力值标准装置。2.分析了内外电极同轴度、电极表面粗糙度、重合深度等对电容梯度的影响,并将牛顿插值法应用于其测量过程中,完成了对电容梯度的测试,9次测量结果显示其均值为0.93764 p F/mm,方差为3.5×10-4p F/mm,相对标准偏差为0.004%,并对导致电容梯度不确定的来源进行了分析,给出了相应的解决方案。3.为降低环境因素对测量结果造成的影响,文章提出了一种差分式微纳力值测量机构,相比非差动机构,其蠕变速率得到了极大的降低。完成静电力与质量比对,并对比对结果进行不确定分析,其中包括地面振动、空气扰动等A类不确定度和电压源、激光干涉仪、电容梯度等B类不确定度,结果表明合成标准不确定度小于2%。4.分析了原子力显微镜悬臂梁作为微纳力值传递标准的优势,提出了一种内电极平衡位置保持不变的悬臂梁刚度测试方法,利用该方法对四种不同刚度(5.1-48N/m)的悬臂梁进行刚度测试,相对标准偏差都小于0.6%。并对测量结果进行不确定分析,合成标准不确定度都小于2%。5.探索了基于可溯源微纳力值标准装置的动态力值传感器标定方案,建立了压电薄膜力值-电压数学模型,并对静电力、刚度、电压等引起的不确定度进行分析,合成相对不确定度为1.77%。6.基于压电薄膜搭建了动态力值测量系统,分析了水黾腿刚毛结构的优势,完成了水黾腿以不同速度脱离水面时的粘附力值测量,测量结果表明,脱离速度越大其粘附力值越小,这就解释了为什么水黾在跳跃过程中有一个临界100的雷诺数。另外通过理论分析,诠释了刚毛结构可以有效地减小其脱离水面时所消耗的能量大小。