关键词:
非接触测量
光学探针
差动共焦
三维检测
倾角测量
摘要:
为实现对光学元件表面形貌的高精度无损测量,针对基于激光差动共焦原理的非接触光学测量传感器展开研究,搭建了一种可以同时对待测面的位置和法线信息进行测量的激光差动共焦光学传感器,并搭载于精密三坐标位移台完成了对光学元件面形的高精度自动化测量。论文的主要内容包括:
(1)通过分析和比较国内外在对光学元件表面形貌测量中使用的各种方法,明确了差动共焦传感器在通用面形高精度测量中的显著优势。详细阐述了在测量面形的过程中,同步进行法向量测量,对确保测量结果的精确性和提高整体测量效率具有重要的作用。
(2)针对激光差动共焦非接触式位移传感器展开研究,对其测量原理进行数学模型构建,建立了激光差动共焦传感器的信号模型,从测量机理上分析了传感器的性能特点,包括共模噪声抑制特性、横向和轴向分辨率、线性区间以及倾角抑制能力等关键性能指标,为传感器系统设计提供了理论依据。
(3)为赋予激光差动共焦传感器对待测面倾角测量的能力,通过分析差动共焦显微镜的出瞳面光强分布,提出了一种基于光斑图像峰值位置获取被测表面的倾斜角度信息的方法。该方法利用差动共焦响应曲线具有唯一过零点的特点,将被测表面精确定位至显微物镜焦点位置,通过面阵相机捕获显微物镜出瞳面的单帧光斑图像,并运用改进Meanshift峰值提取算法确定光斑的峰值位置,通过对传感器进行精确标定,建立了光斑峰值位置与被测表面倾斜角度之间的对应关系。实验结果表明,本系统为传统差动共焦测距传感器提供了测量倾角的功能,而且具备结构简单、测量迅速以及检测精度高等显著优势。
(4)为解决传感器通过轴向扫描确定过零点位置后,再进行显微物镜出瞳面光斑采集导致的检测效率不足的问题,构建了一种基于滑动窗口的过零点单曝光方法,大幅提升传感器检测效率。该方法通过设备在轴向扫描的过程中,根据已采集的差动共焦信号,实时预测信号曲线的过零点位置,并在过零点时刻触发相机曝光,完成单帧光斑图像的获取,在传感器轴向扫描的过程中即可完成待测面倾角测量的过程,大幅提高了设备的检测效率。
(5)研制了差动共焦倾角测量系统,并验证了设备对实际面形的测量能力。实际测试结果表明,对面形倾斜程度(0-8°)测量平均误差为0.011°,倾斜方向(0-360°)的测量平均误差为0.128°,能够满足在高精度光学元件三维表面进行检测的过程中,对表面倾斜角度测量的要求。搭建了集成差动共焦传感器的三坐标测量系统,开发了面形自动化测量分析上位机软件。该软件具备扫描采样点生成、路径自动规划、防碰撞检测、面形分析等功能,并提供检测过程与检测结果可视化展示。通过使用设备对平凹透镜的自动化测量与面形分析,验证了传感器应用于实际面形测量的能力。