关键词:
HfO2
RRAM
FeRAM
随机数发生器
抗辐射阻变存储器芯片
多值型铁电存储器芯片
摘要:
随着大数据时代的到来,信息存储量和处理量呈现指数型增长趋势。阻变存储器(RRAM)、铁电存储器(FeRAM)、相变存储器(PCM)等新型存储器得到了广泛关注和发展。新型存储器的性能一方面依赖于存储元器件的材料和器件性能研究,另一方面取决于存储阵列关键电路设计。在存储材料方面,HfO2基材料不仅能够展示出高性能的阻变特性,而且通过元素掺杂能够获得与CMOS工艺兼容的铁电材料(如Hf0.5Zr0.5O2),因此具备应用于阻变和铁电存储器领域的潜力。存储阵列关键电路设计是实现存储功能必不可少的组成部分,也是存储器由基础研究走向产业化应用的重要环节。受器件波动性、外界辐射、读取裕度小等因素影响,随机数发生器与新型存储器芯片容易产生误读的问题,因此通过芯片电路设计优化读取可靠性变得尤为重要。本文基于HfO2和Hf0.5Zr0.5O2材料构筑了阻变存储器件和铁电存储器件,并针对HfO2基随机数发生器与新型存储器芯片读取可靠性的提升,从存储单元结构优化或电路设计两个角度出发,对阻变型随机数发生器、抗辐射阻变存储器芯片和多值型铁电存储器芯片关键电路设计开展了深入研究。主要研究内容如下:
1、阻变存储器因其阻变过程具备高度随机性,在随机数字发生器方面具有独特优势,但因高阻态波动范围小、读出电路波形占空比不稳定而存在读取错误的问题。本文基于HfO2材料构筑阻变存储器,利用RRAM高阻态的随机波动性和过冲电流的随机弛豫等阻变特性,设计了两种随机数发生器。其一,针对1T1R结构随机数发生器存在高阻态波动性较小而导致读取可靠性下降问题,从存储单元结构优化角度出发,本文提出了基于2T1R结构的随机数发生器,通过额外增加一个增益晶体管协同分辨高阻态,实现了步长为1.5 kΩ的小波动高阻态分辨能力。这种设计不仅降低了随机数误读现象,还抑制了±5%读出电压的噪声影响。其二,本文发展了一种基于RRAM过冲电流弛豫时间的随机数发生器,通过设计一种面向精细计时的时间数字转换电路,该电路具有结构简单、1ns的识别精度的特点,解决了粗略计时的读出电路存在波形占空比不稳定的问题,优化了读出电路可靠性。进一步,经过NIST各项测试,结果显示上述两种随机数发生器的P值均大于0.0001,从而验证了它们的随机性。
2、RRAM因其导电细丝具有较小的截面,受辐射影响较小,因此在抗辐射存储芯片方面极具潜力。然而,在辐射条件下阻变存储芯片的读取数据因关键电路故障仍会发生错误,这使得基于RRAM的抗辐射电路加固显得尤为必要。面向读取可靠性优化,本文基于HfO2 RRAM开展抗辐射电路加固设计,包括器件级与系统级加固、读出写入电路加固以及时序控制电路加固等方面。其一,采用环栅晶体管和纠错码编码电路对阻变存储芯片进行了器件级与系统级加固设计;其二,采用DICE、施密特触发器、Muller C单元等加固组件,在阻变存储芯片中读出写入时序控制电路等关键路径处进行了单粒子效应加固设计;其三,针对高能粒子会导致限制电流电路输出电压变化量大于5%的情况,本文提出了功率管栅极加电阻的方式,对限制电流电路进行单粒子瞬变加固设计,使其输出电压变化量降至1.25%,优化了写入电路的可靠性。此外,为了提升读取可靠性,本文设计了面向小窗口阻变存储器的电流型灵敏放大器,并通过额外增加锁存器的结构,进行了单粒子效应加固设计。仿真结果表明,读出电路的临界电荷约为2.0pC,即抗单粒子翻转LET大约为65Me V/cm2/mg,并可以达到20ns快速读出;此阻变存储芯片在X射线环境下抗总剂量效应可达到4Mrad(Si)。
3、HfO2基FeRAM因其具有多值调控特性,在多级高密度信息存储方面有着重要应用潜力。然而,目前HfO2基FeRAM芯片受限于低读取电压裕度和高输入偏移量,难以对多值存储态准确区分,因此从存储单元结构优化与电路设计角度提升其读取可靠性是十分必要的。针对上述问题,本文提出并设计了基于Hf0.5Zr0.5O2铁电材料的多值型铁电存储芯片,包括3TnC结构多值型铁电存储芯片电路设计和两步式读取方案。在3TnC-FeRAM电路设计中,从存储单元结构优化角度出发,提出的3TnC阵列结构扩大了读取电流的裕度,相邻存储级之间的读取裕度达到了450mV。与此同时,从电路设计角度出发,分别开发了无电容抵消偏移量的第一级灵敏放大器和抑制工艺温度波动的第二级灵敏放大器,实现了高可靠性的读取。与传统灵敏放大器相比,电路设计的第一级灵敏放大器偏移量降低了近40%;而电路设计的第二级灵敏放大器抑制工艺温度波动的能力提高了近30%。在两步式读取方案中,依据成熟的高分辨率时间数字转换电路,最终可以识别出读出裕度小的多值型铁电存储芯片,提升了读取的可靠性。通过流片测试验证了12F2/bit面积效率的铁电存储芯片读取裕度为300