关键词:
温度传感器
高精度
高转换速率
曲率校准
放大器校准
混合电容-电阻DAC阵列
摘要:
随着工业制造的进步,电路不断朝高集成度方向发展,不同电路模块之间相互协作,最终构成具有完整功能的集成电路。然而不同模块之间均会产生一定程度的误差,并且随着电路规模的扩大该误差会逐渐放大,对高精度数字温度传感器电路的设计提出了挑战。例如在基于逐次逼近型寄存器(Successive approximation register,SAR)模数转换器(Analog-to-digital converter,ADC)的温度传感器中,基准电路、放大器、SAR ADC的性能均会影响传感器的精度。此外,在医疗领域和工业控制领域,对于温度检测的频率也有极高的要求。并且对于一些特殊环境,还会考虑环境噪声对温度检测设备的影响。针对上述难点和挑战,本文结合具体应用环境,开展了高精度、高转换速率的互补金属氧化物半导体(Complementary metal oxide semiconductor,CMOS)温度传感器研究,本文的创新点和主要内容如下:
1.针对传统的一阶带隙基准电路进行改进,通过开关电容电路引入与绝对温度无关(Zero to absolute temperature,ZTAT)以及与绝对温度成正比(Proportional to absolute temperature,PTAT)的电流进而消除基准电压的高阶非线性。该方法与传统的曲率校准电路相比具有更好的灵活性,并且温度系数从25ppm/°C变为了1.51ppm/°C,降低了最大3.036°C的温度误差。
2.针对放大器中的失配以及失调对放大器精度的影响。本文进行了两个方面的改进:其一采用连续四次放大的开关电容放大电路。传统的放大器没有连续放大的结构,36倍的放大倍数需要采用18:1的电容(电阻)比例,而本文仅需要采用4.5:1的比例。采用开关电容结构的放大器相比传统电阻放大器具有更好的匹配,失配从2.88%降低到了0.023%。并且连续四次的放大过程对放大产生的误差求了平均,提高了放大因子的精确度。其二设计了一款适用于本设计的放大器校准电路,在传统的自归零(Auto-zerod)和相关双采样电路(Correlated double sampling,CDS)的基础上进行改进,利用失调存储和消除的原理降低运放失调对于放大器放大因子精度的影响,进而提高温度传感器的精度,降低了大约10°C的温度误差。
3.针对传统SAR ADC的电容数模转换器(Digital to analog converter,DAC)阵列面积大的问题进行了改进,设计了电阻电容结合的混合电容-电阻DAC阵列结构,并且进一步优化了电阻DAC结构,在确保SAR ADC性能的前提下节省了11047.6μm2(约占传统两段分裂电容的49.809%)的面积。
本文所提出的设计在2.7V至5.5V的电源电压范围内工作,并使用0.6μm BJT工艺实现,该温度传感器在传统两段分裂电容-55°C到125°C的温度范围内,无需校准即可在1.48ms(最快可达0.1ms)的转换时间内实现±1.45°C(3σ)的精度,并实现29.7mK的分辨率。