关键词:
微纳机电谐振器
二维材料
力学性质
杨氏模量
频率调控
摘要:
自2004年Geim,Novoselov及其同事成功解理出原子薄层石墨烯(graphene)以来,graphene的兴起激发了研究者们对其他二维材料的深入研究。与二维材料有关的研究在过去20年中呈爆炸式增长,涉及凝聚态物理、电子工程、材料科学和化学等不同学科。除了具有卓越的光学、电学和热学性质外,二维材料还呈现出一种独特的力学性质组合,即较高的平面内刚度和强度,和极低的抗弯刚度。这些材料优势使得二维材料成为助推低维物理研究的特殊平台,并使其在微纳机电系统(Micro-and Nanoelectromechanical Systems,M/NEMS)、柔性电子学以及物性调控应变工程等方面的应用研究中表现出极大的发展潜力。迄今为止,大多数二维材料的力学性质测试都遵循了哥伦比亚大学Hone课题组使用悬空纳米压痕技术对graphene进行的开创性工作。然而,受限于现有悬空纳米压痕技术不容忽视的局限性,二维材料的力学性质实验研究存在一些不可避免的测量误差。本文利用一种不同的二维材料力学性质测试方法,探索了半金属Ti3C2Tx、半导体WSe2、β-In2S3以及各向异性半导体Re S2。通过制备多个不同类型的二维材料微纳机电谐振器,使用光学干涉技术对其性能进行测试,并结合圆形鼓膜谐振器模型成功提取了二维材料的杨氏模量及悬空部分的表面张力。在此基础上,本文结合有限元方法(finite element method,FEM)和振动模态可视化技术,成功提取了各向异性二维材料沿两个垂直的力学轴方向的杨氏模量。这些工作为进一步探索二维材料的力学性质提供了一种不同的方法,与此前常用的压痕法形成了较好的互补。本文主要研究如下:1.在第一个工作(第三章)中,本文基于圆形鼓膜谐振器模型提出了一种新的二维材料力学性质测试方法,并利用这种方法成功提取了二维Ti3C2Tx晶体的杨氏模量及器件的表面张力。首先,通过干法转移技术成功制备了不同厚度、不同直径的Ti3C2Tx的谐振器。然后,通过对器件谐振特性进行测量,得到了器件的频率设计规律。接下来,通过将实验结果与理论计算相结合,独立推导出二维Ti3C2Tx晶体的杨氏模量为270~360 GPa,这与纳米压痕测量结果非常一致,而器件的初始张力为0.05 N/m到0.4 N/m。最后,本文进一步展示了对Ti3C2Tx谐振器谐振频率的电调谐,以及基于频率偏移的Ti3C2Tx真空传感器,其响应率为736%/Torr,检测范围低至10-4 Torr。2.在成功提取二维Ti3C2Tx晶体的力学性质的基础上,本文的第二个工作(第四章)进一步将这种方法拓展到半导体WSe2的力学性质探索。首先,通过干法转移技术成功制备了不同厚度、不同直径的WSe2谐振器。然后,通过对器件幅频特性进行测量,得到了器件的频率设计规律。接下来,通过将实验结果与理论计算相结合,利用谐振器“板”“膜”两种极限近似,分别提取了WSe2的杨氏模量为130 GPa,初始张力为0.05 N/m到0.4 N/m。最后,进一步展示了宽广的频率调谐范围(高达230%)和较高的调谐效率(高达23%/V)。3.在第三个工作(第五章)中,本文利用水辅助转移技术成功制备了基于非层状半导体材料β-In2S3的二维谐振器,进一步验证了上述力学性质测量方法的兼容性。首先,通过使用水辅助转移将化学气相沉积(chemical vapor deposition,CVD)法制备的二维β-In2S3从云母衬底上转移至聚二甲基硅氧烷(polydimethylsiloxane,PDMS)上。然后,利用干法转移技术制备了不同直径、不同厚度的二维β-In2S3谐振器。接下来,利用激光干涉法测量器件的幅频特性响应,得到了器件的频率设计规律。利用圆形鼓膜谐振器的理论模型推导出二维β-In2S3微纳机电谐振器的频率设计规律,与实验数据吻合。最后,利用谐振器“板”“膜”两种极限近似,分别提取了二维β-In2S3的杨氏模量为45 GPa,初始张力为0.05 N/m到0.5 N/m。同时,本文制备的二维β-In2S3谐振器在从10-3 Torr到大气压的六个气压量级中表现出了超宽的传感范围,并显示出高度线性的谐振频率调谐特性,其非线性度为0.71%,是二维NEMS真空传感器中最好的。此外,通过周期性压强切换实验以及与商用真空传感器进行实时数据比较,本文证实了二维β-In2S3微纳机电谐振器在真空传感应用中的快速响应和可重复性。4.在第四个工作(第六章)中,本文通过FEM仿真和测量Re S2纳米机电谐振器的多模态谐振特性,展示了二维Re S2晶体中力学各向异性的理论和实验。首先,通过FEM仿真研究了Re S2二维晶体材料中体现力学各向异性的关键特征。然后,利用机械剥离和干法转移技术制备了具有直径d=10μm,厚度t=