关键词:
InGaN
光电探测器
石墨烯
Cs3Cu2I5
表界面调控
摘要:
可见光通信(Visible light communication,VLC)技术由于频谱资源丰富、保密性强及绿色节能等特点,在电磁敏感区通信、水下通信及车间通信等领域引起了广泛的关注,被认为是6G空天地一体化通信网络中重要的组成部分。光电探测器作为接收模块,是VLC系统的关键核心,其性能决定VLC系统的传输速率和可靠性。因此,适用于VLC系统的光电探测器受到了研究者的广泛关注。InGaN基光电探测器由于工作波段连续可调,避免了VLC系统中滤光片的使用,从而提高VLC系统的集成度和可靠性,在VLC领域展现出巨大的应用前景。石墨烯作为一种新型的二维材料,具有良好的导电性、透光性和高载流子传输能力,在光电器件领域被广泛应用。将InGaN和石墨烯两者结合制备InGaN/石墨烯异质结光电探测器,有望充分发挥InGaN和石墨烯各自的优势,实现器件性能的提升。虽然InGaN低维材料(如纳米柱与量子点)与石墨烯异质结光电探测器有了一定进展,但依然面临如下问题:(1)如何抑制InGaN表面由于In偏析、团簇等问题导致InGaN/石墨烯高密度界面态,降低器件的暗电流;(2)如何增强InGaN/石墨烯内建电场强度,提升器件的响应度;(3)针对多波长探测场景如何调控器件的探测波段。针对上述问题,为了获得高性能InGaN/石墨烯异质结光电探测器,本论文按照“InGaN/石墨烯异质界面调控”→“InGaN/石墨烯异质结能带调控”→“InGaN/石墨烯异质结电荷收集区调控”的研究思路展开,取得的主要成果如下:1、构建InGaN/Al2O3/石墨烯Metal-Insulator-Semiconductor(MIS)结构,调控InGaN/石墨烯异质界面,实现了低暗电流异质结光电探测器制备。针对InGaN薄膜表面高密度表面态导致InGaN/石墨烯异质结光电探测器暗电流大的问题,以Al2O3层调控InGaN/石墨烯异质界面特性。研究表明,引入合适厚度的Al2O3层后InGaN与石墨烯之间的势垒高度增加,来自石墨烯的电子被高势垒阻挡降低暗电流;InGaN薄膜中空穴以隧穿方式通过Al2O3层,器件的光电流基本保持不变。最终制备的器件暗电流降低两个数量级、光电流提升一个数量级。器件的响应度达到20.54 A/W@-3 V、响应时间为24.6/44.3μs@-3 V。2、构筑InGaN/石墨烯/氧化石墨烯量子点异质结构,调控InGaN/石墨烯能带结构,实现高响应度光电探测器制备。针对InGaN/石墨烯内建电场弱的问题,引入氧化石墨烯量子点对石墨烯费米能级进行调控;氧化石墨烯量子点的引入导致石墨烯中电子流向氧化石墨烯量子点,石墨烯费米能级下降,InGaN/石墨烯的内建电场增加,从而更快、更有效地分离光生载流子产生更大的光电流。引入氧化石墨烯量子点后,所制备的器件响应度峰值从20.54 A/W增加到了323.64 A/W,增加了约1515%。器件响应时间为40/100μs。3、设计InGaN/石墨烯/Cs3Cu2I5异质结构,调控器件电荷收集区,实现波长选择性光电探测器的制备。针对InGaN/石墨烯异质结光电探测器探测波段单一的问题,基于电荷窄化收集效应引入Cs3Cu2I5层对异质结电荷收集区进行调控,厚Cs3Cu2I5层的引入导致器件在短波下产生的光生载流子分布在远离异质界面的Cs3Cu2I5层,而长波产生的光生载流子分布在InGaN中。通过调节器件反向偏压实现电荷收集区的改变,对短波下产生的光生载流子进行选择性收集,使器件具有蓝光单波段探测和紫外/蓝光多波段探测能力。此外,研究表明Cs3Cu2I5薄膜与InGaN/石墨烯衬底间弱相互作用力与低吸附原子扩散势垒减少了Cs3Cu2I5的成核位点数量,从而提高了Cs3Cu2I5薄膜晶体质量。所制备光电探测器在430 nm处响应度和探测率分别达到最大值0.57 A/W@-2 V和3.09×1010Jones@-2 V,器件响应上升/下降时间为240.2/256.5μs。综上,本论文通过对InGaN/石墨烯异质结的界面、能带及电荷收集区进行调控,最终获得了低暗电流、高响应度和具有波长选择性探测的光电探测器,优异的性能使其在光电探测领域显示出巨大的应用潜力。本论文的研究对于InGaN/石墨烯异质结光电探测器的的构建及性能调控具有一定的指导意义。