关键词:
接触时间依赖性
原子力显微镜
停留时间
石墨烯
硅-硅界面
摘要:
近年来微机电系统(MEMS)得到快速发展和应用推广.MEMS是在微纳米尺度上集成电气和机械元器件,MEMS结构的微型化会产生很多新的问题.粘着力是MEMS在制造和使用中失效的一个重要原因.硅材料是MEMS器件的主要原材料,而石墨烯材料也被用作表面覆盖膜广泛地应用于微机电系统.石墨烯以硅基底作为支撑基底是常见的使用方法.因此,深入研究硅-硅与硅石墨烯界面的粘着机理,利用粘着规律进行人为的调控硅-硅与硅-石墨烯界面的粘着力,才能更好的促进微机电系统的发展和石墨烯的商业应用.本文在不同相对湿度下,利用原子力显微镜研究不同亲水性的硅-硅界面与硅-石墨烯界面的粘着力的接触时间依赖性.内容总结如下: (1)在10%~90%相对湿度下,利用原子力显微镜(AFM)测量了疏水硅微悬臂和半疏水硅样品之间的粘着力,调查了粘着力的接触时间依赖性.实验结果表明,疏水硅-半疏水硅界面粘着力的接触时间依赖关系与相对湿度和接触历史有关.粘着力在10%~80%相对湿度下随停留时间的增加而对数增大(饱和时间为80~200s),在~90%相对湿度时独立于停留时间.然而,在经历过90%相对湿度下的接触后,粘着力(90%相对湿度)呈现不稳定性,而粘着力的行为也从独立变成对数增大或在长停留时间有大值.这种不稳定性表现为粘着力的幅值随重复接触次数的增加而改变.粘着力行为的改变被归因于原硅酸的缩聚反应而形成溶胶和凝胶,最终导致表面液体膜厚度大且粘度高.在高湿度下暴露之后,粘着力在60%~80%相对湿度下随停留时间的行为变成"增大-减小"或"不变-增大-不变".此外,暴露也导致了在30%~10%相对湿度下的粘着力饱和时间减小.然而,在低相对湿度下重复接触可以消除这种暴露效应.正是因为暴露效应,粘着力在接触时间依赖性和幅值变化的行为在增大和减小相对湿度时都存在差异.因此,界面接触的历史有很大影响. (2)在不同相对湿度下,利用AFM疏水和亲水的无针尖硅微悬臂测量了亲水二氧化硅表面的粘着力,调查了粘着力的接触时间依赖性,以探讨表面亲水性对接触时间依赖性的影响.相对湿度先依次从10%阶梯式地增大(以10%为幅度)到90%,然后再依次减小到10%.结果表明,表面亲水性对硅-硅界面粘着力的接触时间依赖性有较大影响,且在高湿度的接触历史可能改变接触时间依赖性.在10%~80%相对湿度下,疏水硅-亲水硅界面的粘着力随停留时间的增加而对数增大(有接触时间依赖性).该粘着力随重复接触次数的增加而变化的幅度较小,表现出较稳定的行为.也就是说,增大和减小停留时间情况下获得的平均粘着力重合性好.然而,在90%相对湿度下,疏水硅-亲水硅界面的粘着力可能有也可能无接触时间依赖性,且粘着力不稳定(会随重复接触而变化),甚至出现粘着力的跳跃现象.此外,在经历了90%相对湿度下的接触之后,在高相对湿度(80%~60%)下粘着力的接触时间依赖性变得不明显,且幅值也变得不稳定.然而,当相对湿度小于60%时,粘着力又变得有接触时间依赖性,且稳定性较好.形成鲜明对比的是,亲水硅-亲水硅界面的粘着力在低湿度(10%~40%)下无接触时间依赖性,随停留时间的增加保持不变或在长停留时间时略有增大.然而,该粘着力在中高湿度(50%~90%)下有接触时间依赖性.在经历过高湿度下的接触之后,粘着力在全湿度范围(90%~10%)均有接触时间依赖性.此外,当相对湿度持续保持在10%时,粘着力又恢复到无接触时间依赖性的行为. (3)在不同相对湿度下,利用AFM无针尖硅微悬臂测量了附着于二氧化硅的单层石墨烯表面的粘着力,调查了粘着力的接触时间依赖性,探讨了表面亲水性对该依赖性的影响.接触界面包括:亲水硅-疏水石墨烯、疏水硅-亲水石墨烯和疏水硅-疏水石墨烯.结果表明,亲水性不同时,硅-石墨烯界面的粘着力在不同相对湿度下的接触时间依赖性也各异.具体而言: ①在10%~90%相对湿度下,亲水硅-疏水石墨烯的粘着力均无接触时间依赖性.粘着力随停留时间的增加或保持不变,或略有增大(因幅度很小,认为无时间依赖性),或有不确定的增大和减小的趋势(随重复接触而变化).值得一提的是,粘着力在高湿度(70%~90%)下表现出极不稳定的行为,即增大和减小停留时间获得的平均粘着力存在很大差异.在经历过90%相对湿度下的接触后,该粘着力的幅值变得很大(最大值可达1μN).而在此之前,粘着力一直较小(30~200nN). ②总体上来说,疏水硅-亲水石墨烯的粘着力的幅值随重复接触而持续减小:接触初期粘着力的最大值超过1μN,而接触后期的最小值小于5nN.在接触的前半段,相对湿度从10%阶梯式地增大到90%,此时粘着力通常无接触时间依赖性(除了60%相对湿度时).此外,在初期湿度较小(10%~40%)的情况下,粘着力表现出极不稳定的行为,甚至出现突然跳跃行为