关键词:
光开关
光波导
聚合物
石墨烯
模分复用
摘要:
随着社会的不断发展,信息通信网络的信号处理量迅猛增长,设备对能源的需求也在不断上升,高能耗已成为制约信息技术可持续发展的主要瓶颈之一。光开关与光开关阵列是构建光通信系统的重要器件,特别是在采用密集波分复用(DWDM)或者模分复用(MDM)技术的高速宽带通讯网的骨干线上,复杂的网络架构需要灵活、可靠的网络管理,光开关与光开关阵列在光网络中具备光域优化、路由和保护等功能,是光分插复用器(OADM)和光交叉连接器(OXC)的核心技术。因此,如何降低光开关器件的功耗已经成为亟待解决的重要难题,对降低信息基础设施的能耗具有重要的意义。
波导型光开关是目前光通信网络中应用最为广泛的光开关器件,用于制备波导型光开关的材料主要分为无机材料和有机聚合物材料两类。与无机材料相比,有机聚合物材料具有制备工艺简单、成本低廉、折射率可调、抗电磁干扰能力强以及无机材料所无法比拟的高电光系数和高热光系数等优点,因此逐渐成为极具发展和应用前景的实现低成本、高性能光子器件的基础性材料。此外,有机聚合物材料最突出的优点在于它的加工集成能力强,可以灵活地与其它材料体系和波导、电极结构进行混合异质集成。因此,利用有机聚合物材料探索和研究高性能、低功耗、小型化和集成化的光开关器件具有重要的理论意义和实际价值。
在传统结构的光开关器件中,为了避免金属电极引起光学吸收损耗,需要在金属电极和波导芯层之间加入一定厚度的包层材料,这样也会限制电极对波导芯层中光场的调制效率。为解决该矛盾问题,本论文主要结合石墨烯优异的电学、光学和力学特性,以及有机聚合物波导加工工艺简单、灵活的优势,通过对石墨烯转移技术研究和波导制备工艺设计,将石墨烯电极掩埋于有机聚合物光波导的内部,以石墨烯/聚合物混合波导结构为基础,对光开关器件进行了系列研究。论文主要工作内容如下:
(1)构建了石墨烯/聚合物混合波导的理论模型,分析了石墨烯的各向异性模型和界面模型,并利用界面模型在仿真效率方面的优势,模拟了石墨烯/聚合物混合波导结构对TE和TM基模信号的光吸收损耗,得到了TE模式的光吸收损耗远大于TM模式的仿真结果。然后,开发了单层石墨烯薄膜的湿法转移工艺,设计并制备了基于石墨烯/聚合物混合波导的偏振器,进一步对石墨烯/聚合物混合波导结构的光吸收偏振依赖性进行了实验验证。测试结果表明,该器件对TE和TM偏振模式的光吸收损耗存在显著差异,分别为20 d B和5 d B,消光比达到15 d B,并在1525~1620 nm波段内具有较好的稳定性。
(2)基于石墨烯/聚合物混合波导在TM偏振模式下损耗较低的特性,提出了基于石墨烯调制电极的石墨烯/聚合物混合波导光开关。首先,研究了基于石墨烯加热电极的聚合物波导热光开关,利用聚合物波导加工工艺简单、灵活的优势,通过引入加载条形波导结构并结合开发的石墨烯湿法转移工艺,提出了一种将石墨烯加热电极掩埋到光波导芯层内部并进行图案化的新方法。石墨烯加热电极可以在不引入额外损耗的情况下有效提高加热电极与光场的重叠积分因子,进而提高电极的加热效率、降低器件功耗,而且在石墨烯电极的制备过程中引入了空气隔离槽结构,可以有效将电极产生的热量聚集在波导芯层中,进一步降低了器件的功耗。测试结果表明,使用石墨烯加热电极的开关功率仅为3.28 m W,与采用Al加热电极的传统结构热光开关相比,器件的开关功率降低了约3倍,该器件的传输损耗约为6.2 d B,消光比达到25 d B,器件的上升时间和下降时间分别为96μs和112μs。其次,研究了石墨烯调制电极在极化聚合物电光开关中的应用。为减小波导包层的分压,提高电极的极化效率和调制效率,将石墨烯作为地电极并掩埋在波导芯层和下包层之间,同时采用金属电极作为调制电极并放置于波导上包层的表面,提出了基于金属-石墨烯复合调制电极的电光开关结构。采用包层调制的电光开关结构和湿法刻蚀工艺,制备了基于金属-石墨烯复合调制电极的MZI型电光开关,器件的开关速度为17 ns。
(3)利用石墨烯的电吸收效应,提出了基于石墨烯/聚合物混合波导的模式可选择光开关。为了实现对MDM系统中空间模式的灵活调控,利用石墨烯电容器与TE偏振光的相互作用,并结合TE11、TE12和TE21模式的光场分布和不同方向上的归一化电场强度,将四个石墨烯电容器掩埋在聚合物少模波导的不同位置,并通过优化各个石墨烯电容器的尺寸和掩埋位置,实现了对TE11、TE12和TE21三种模式的可选择调控。仿真结果表明,调控三种模式所需的功耗分别为12.6p J/bit、126.0 p J/bit和94.5 p J/bit,对应开关时间分别为31 ps、357 ps和250 ps。在C波段内,石墨烯对三种模式的光吸收损耗均高于20 d B/cm。通过设计石墨烯电容器的长度,各模式的消光比均能达到23 d B