关键词:
石墨烯
二维材料
太赫兹探测器
摘要:
太赫兹波一般是指波长介于30μm到3 mm之间的电磁波。其频段介于微波和光学频带之间,在应用上与之互补,因而在基础科学研究、生物学和医学科学、无损评估和国土安全等领域均展示出应用潜力。然而,目前太赫兹探测技术的发展仍不充分,由于太赫兹波光子能量小,在常温下以光子形式进行探测较难,其频率比微波较高,也超出了微波探测器件的带宽。常用的探测器(如高莱盒、热释电探测器等)尚无法同时覆盖高灵敏度、超快响应速度、高动态响应范围、可室温操作等要求,因此寻找新的探测材料及探测原理,作针对性器件设计,是当前该领域的研究重点之一。
石墨烯是一种由单层碳原子以sp2杂化轨道键合而成的二维原子晶体,具有线性能带和零带隙的特点,在室温下有超高的载流子迁移率,超快的光电子弛豫速度(1 ps量级),超宽带的吸收光谱(从可见光-红外-太赫兹范围),因此有望成为太赫兹探测材料之一。然而由于石墨烯的光学吸收率较低、光电子弛豫速度快,导致石墨烯探测器的光电响应度较低,本论文针对此问题,从增强太赫兹波吸收和促进光生载流子分离的角度出发,采用天线/栅极一体化设计,构筑了石墨烯太赫兹探测器,通过研究探测器在不同光强、偏振入射太赫兹波下的探测指标,明晰了所设计探测器的工作机制。具体研究内容包括以下四个部分:
(1)中红外-太赫兹光电测试系统的构筑
为了研究石墨烯太赫兹探测器的工作机制,本工作设计并搭建了一个覆盖中红外至太赫兹波段的光电流测试系统。系统采用可见、中红外、太赫兹三个波段的激光器作为光源,可分析同一器件在不同波段下的光电响应,为解释器件工作机制提供依据;系统采用锁相放大技术以实现光电信号的精准表征;采用基于python的QTlab软件包,通过编写仪器交互程序、测量程序,实现对自动化位移台、电学测量设备等硬件的同步和互联,获取器件在不同波段下的光电流空间分布,为后续研究提供测试平台。
创新点:通过自主搭建光电测试平台,可研究同一器件在可见光、中红外、太赫兹波入射下的光电响应特征,分析器件性能随波长的演化规律。
(2)天线/栅极一体化石墨烯室温太赫兹探测器
本工作基于石墨烯中的光热电效应特征,采用天线/栅极一体化设计方案:利用天线增强石墨烯对太赫兹波的吸收,同时在吸收热点原位构筑塞贝克系数梯度,促进光生载流子的有效分离。在设计中,利用有限元数值模拟与实测数据相互反馈的方法,确定器件的结构尺寸,利用微纳加工方法构筑了相应的器件。所构筑的典型器件在2.7 THz太赫兹波入射下,灵敏度达到1 nW·Hz-1/2量级,探测速度大于5 kHz。在该设计下,器件工作不需要在源漏处施加偏压,因此可降低石墨烯器件噪声水平。该工作为基于石墨烯材料的太赫兹探测技术提供可行的设计方案。
创新点:采用蝶形天线/栅极结构,将光场汇聚至石墨烯窄沟道,提升热电子温度,在热点处原位构筑塞贝克系数梯度,使光生载流子产生、分离区域重合,以有效增加光生载流子的分离效率,实现无偏压下的低噪声太赫兹探测。
(3)石墨烯太赫兹偏振探测器
太赫兹波的偏振态携带其所作用样品的介电函数及其空间分布信息,对太赫兹偏振态的检测,可增加其在医学成像、无损检测等领域的探测维度。本工作基于石墨烯pn结太赫兹波探测的理论模型,并以“可集成化”为前提,针对化学气相沉积法(CVD)制备的石墨烯,优化器件的制备工艺,针对线偏振光、圆偏振设计了不同结构的天线/栅极,所制备的器件圆偏振消光比达到10,实现了对入射太赫兹波偏振态的有效检测。
创新点:设计了针对线偏振、左旋、右旋圆偏振太赫兹波的天线/栅极结构,优化了CVD石墨烯与介电层之间的界面工艺,为太赫兹波段的阵列集成提出了解决方案。
(4)基于辐射热原理的石墨烯探测器
作为上述“光子型”探测器的补充,本文探索了基于辐射热原理的石墨烯探测器:器件采用垂直取向石墨烯/氧化铟锡复合结构作为探测材料,石墨烯层在吸收辐射热后,温度上升,进而影响器件电阻,在偏置电压下显示为电流的变化。所构筑的辐射热型探测器对红外光显示出较高的光电响应。本工作提出了一种基于垂直取向石墨烯材料实现高性能光电器件的新方法。
创新点:提出了可利用“垂直取向石墨烯/氧化铟锡复合结构”作为辐射热探测材料。