关键词:
原子力显微镜
形态分析
快速扫描
图像处理
深度学习
摘要:
原子力显微镜(Atomic Force Microscopy,AFM)是一种扫描探针显微镜,相较于其他显微技术,AFM不仅具有原子级分辨率和三维成像能力,同时对工作环境和样品导电性没有苛刻的要求,因此在生物医学和纳米材料等领域得到了广泛的应用。基于AFM的形态分析是指对被测样品形状、尺寸、分布等参数的测量和分析,在表征样品特性方面起着非常重要的作用。使用AFM对被测样品进行形态分析的流程主要包括AFM扫描成像、图像预处理、目标分割和形态分析这几个步骤。其中,AFM扫描成像是后续流程得以顺利开展的前提和基础。但是受制于AFM特殊的成像机制,获得一幅高质量图像往往非常耗时,限制了基于AFM快速形态分析的实现。另一方面,受垂直漂移、虚假斜坡等因素的影响,获得的AFM图像往往会不可避免地出现畸变和伪影,影响AFM成像精度以及后续处理流程。最后,目标分割的精度对形态学分析有着重要的影响,不精确的分割结果可能会导致完全相反的结论。目前的AFM图像分割方法基本还停留在传统阶段,鲁棒性差、往往需要大量调参并且难以实现精确分割。
因此,本论文围绕被测样品形态分析这一主题,针对流程中每个环节存在的关键问题和难点,并考虑已有方法存在的不足,分别设计了快速扫描算法、图像畸变校正算法、图像分割算法,解决了流程中每个环节存在的问题,实现了基于AFM图像的自动化形态学分析。具体内容如下:
(1)基于平滑轨迹设计的AFM水平快速扫描算法(该部分属于形态分析流程中的AFM扫描成像环节)。扫描成像是基于AFM形态分析流程的前提和基础,而商用AFM大多采用光栅扫描方式,扫描速度慢且快速扫描容易引入畸变和伪影,限制了快速形态分析的实现。针对这个问题,本文设计了一种基于平滑轨迹设计的快速扫描算法,在保持采样数据均匀性的同时弥补了传统光栅扫描轨迹的不足。具体来说,保持光栅轨迹前向信号不变,将反向信号用一段正弦信号代替,并通过位置约束和速度约束,保证了正反向信号的连续性和平滑性。通过这种方式,不仅可以方便地直接利用前向扫描过程中采集的高度数据来重构样品形貌图,还能较好地抑制高速扫描过程中压电扫描器的振动问题,提升了AFM的成像速度。仿真和实验结果验证了所提方法的有效性。
(2)基于鲁棒性线拟合的AFM图像竖直畸变校正算法(该部分属于形态分析流程中的图像预处理环节)。虽然采用平滑扫描算法能够较好地抑制x-y方向压电扫描器的共振现象,但是z轴(竖直)方向的垂直漂移和虚假斜坡等因素仍然会引入畸变和伪影,影响AFM的成像质量,从而影响形态分析后续流程的顺利开展。针对这个问题,本文设计了一种具有鲁棒性的AFM图像畸变校正算法,该算法包括数据预处理和线拟合两个步骤,首先通过AFM扫描过程中获得的激光光斑电压误差信号对样品的形貌高度数据进行预处理,获得适合于线拟合的精细数据;然后通过基于改进的稀疏采样一致性的线拟合算法,准确模拟形貌图像截面中的垂直漂移和虚假斜坡,从而实现对图像畸变的有效校正。实验结果验证了所提方法的有效性。
(3)基于U型网络的AFM自动化形态分析算法(该部分属于形态分析流程中的目标分割和形态分析环节)。基于AFM形态分析流程的关键是准确地把目标区域从复杂背景中分割出来,但是手工分割以及一些常见的自动化分割方法(阈值法、分水岭算法等)均不能很好地胜任该任务。基于上述分析,并考虑到现有方法自动化程度较低的问题,本文设计了一种基于U型网络的AFM自动化形态分析算法,能够实现对样品目标区域的精确分割和形态学参数表征。该算法的核心是一个改进的U型网络,通过引入集中信息交互策略,实现了不同特征层级之间的多尺度信息交互,从根本上避免了空间插值带来的负面影响;另一方面,通过引入全局信息流将高级语义信息引导到自顶向下通路的每一个层级中,确保高级语义信息在向下传输过程中不被稀释,实现对目标区域的精确定位。此外,本文构建了一个包含500张AFM图像及其对应标签的数据集,能够实现对所提网络的训练和测试,同时能够促进其他基于数据驱动的AFM智能算法的发展和应用。通过两组图像分割对比实验,验证了所提算法的分割性能。在此基础上,本文还开展了自动化形态学测量应用实验,实现了对不同样品形态特征参数的准确自动测量,进一步验证了所提算法的有效性。