关键词:
微纳米谐振器
表面效应
非线性动力学
表面吸附
模态耦合
原位实时检测
摘要:
微纳机电系统是机械、力学、微电子、化学等多学科交叉的前沿性研究领域,在机械电子、信息通讯、航空航天、生物医学与能源环境等领域有着重要应用价值。微机电系统的日趋成熟和纳米技术的迅猛发展为机械动力学与振动学科提出了前所未有的巨大挑战,同时也带来了全新的机遇。高性能微纳米机械谐振器作为微纳机电系统的核心功能器件,其设计对动力学理论与分析方法提出了新的挑战:机械结构固有表面效应、吸附诱导的表面效应、表面作用力等表面效应显著,工作环境复杂等。为此,本文在微纳米机械谐振器表面效应的力学模型表征、表面效应的作用机制以及其对器件动力学性能的影响规律、表面吸附作用下实验检测机理与方法等方面开展了系统的研究,主要研究工作如下:针对微纳米机械谐振器中结构固有的表面效应问题,本文提出了表征机械结构固有表面效应的修正连续介质力学模型和半连续介质力学模型。首先,提出了一种考虑表面层厚度的纳米机械结构固有表面效应的修正core-shell模型,揭示了表面层厚度对器件结构动力学特性的影响规律。与已有实验数据对比验证了该修正core-shell模型的合理性;与不考虑表面层厚度的表面效应模型对比,论证了当纳米线谐振器直径小于100 nm时考虑表面层厚度的必要性。其次,基于上述修正core-shell模型,进一步发展了表面弛豫和重构作用下表面效应的半连续介质力学模型,该模型能从原子层面揭示固有表面效应的形成机理,且其本构关系满足表面平衡条件。采用分子静力学方法建立了表面弛豫和重构现象的力学模型,得到了表面效应的连续介质力学模型与原子晶格模型之间的关联关系,推导了半连续介质力模型的本构关系,并与已有实验数据和理论结果对比验证了模型的有效性。结果表明:表面弹性和表面密度主要取决于表面弛豫,表面残余应力主要取决于表面重构。本文还将上述修正core-shell模型用于评估光热诱导的过渡性表面层等效杨氏模量和等效厚度,从理论和实验上研究了光热诱致的表面不稳定现象的形成机理,揭示了当宽度增大时表面褶皱从一维有序平行褶皱过渡到二维无序褶皱的力学成因,为基于表面褶皱的无显影光刻技术提供可能性。在上述微纳米机械谐振结构固有表面效应的表征模型基础上,本文研究了表面效应的作用机制以及其对谐振器动力学性能的影响规律。首先,基于非局部弹性理论,提出了纳米机械谐振器内模态耦合非线性效应的理论模型,分析了非局部效应对张力诱导的内模态耦合强度作用机制、模态耦合对双固支梁式谐振器吸合特性和谐振频率的调节作用。结果表明:当尺度减小时,第一阶面内与面外方向模态之间的耦合强度显著增大,其物理成因是非局部弹性理论的引入使机械模态之间能量转移更易产生。其次,研究了表面效应对纳米机械谐振器复合型裂纹扩展与其动力学特性的影响规律,揭示了表面效应与复合型裂纹扩展的内在关联关系,分析了表面效应作用下纳米裂纹梁的动力学特性。提出了斜边缘裂纹效应的概念,阐明了表面效应和复合型边缘裂纹扩展的固有关系;将表面残余应力引入到裂纹尖端力场中,推导了I型和II型边缘裂纹的应力强度因子和相应柔度系数的解析表达式;提出了一种纳米裂纹梁修正的连续介质动力学模型。结果表明:由于残余表面应力改变了复合型裂纹的断裂韧性,故裂纹引起的附加柔度系数关于残余表面应力对称分布,且当?0(27)-10 N/m,表面残余应力可延缓复合型裂纹的扩展。针对表面吸附诱导的表面效应,本文进行了表面吸附作用下为微纳米机械谐振式传感器的传感机理与实验研究。首先,基于修正Langmuir吸附动力学模型,提出了一种微米机械传感器的慢时变参数动力学模型,揭示了流体环境作用下吸附诱导的表面效应对微机械谐振传感器非线性时变参激振动特性的影响规律,研究了原位实时检测的机理与延时特性。通过引入分析物浓度慢时变特征修正了Langmuir吸附动力学模型,建立了表面吸附与结构固有表面效应耦合作用下微机械谐振传感器的慢时变参数动力学模型,分析了吸附诱导的表面效应形成机理与吸附诱导的传感器频率偏移特性。其次,研究了分子吸附下悬浮式多层石墨烯传感器的非线性吸合动力学特性。引入残余built-in应变和双向边缘效应,发展了一种机电耦合动力学模型来描述石墨烯传感器的吸合行为。与已有实验数据对比验证了该模型,讨论了悬浮式多层石墨烯传感器吸合电压的调节方法,比较了石墨烯传感器的断裂和吸合两种失效形式,推导了zigzag型和armchair型石墨烯传感器的临界轴向预应力。再次,本文还针对石墨烯气体传感器的选择性检测原理,分别从理论建模、密度泛函理论仿真和实验测试等方面研究了石墨烯固体表面的吸附动力学特性。采用基于DFT的第一性原理仿真方法计算了气体分子在石墨烯表面的吸附能、电荷转移和吸附平衡距离。基于吸附诱导的非线性刚度弹簧假设,还提出了单气体分子与石墨烯表面之间的吸附非线性刚度模型,计算了不同气体