关键词:
非晶碳薄膜
中间层
离子注渗技术
力学性能
摩擦学性能
摘要:
航空齿轮作为航空装备的关键部件之一,在航空领域中起着举足轻重的作用。但是,传统的航空齿轮材料难以满足高温、高转速、重载荷服役条件,无法保证装备的服役寿命。因此,通过表面强化技术制备高稳定、低摩擦、长寿命的航空齿轮材料,对改善航空装备的润滑状态、解决制约航空装备可靠性和寿命瓶颈问题具有十分重要的意义。本文首先研究了TiSiN薄膜作为中间层其内部结构变化对碳薄膜性能影响。其次,通过设计TiSi/TiSiN/TiSiC/a-C:H多层结构以提高薄膜和基底之间的匹配性。最后,通过低温离子注渗和低摩擦碳薄膜这两种技术复合的方法解决了航空齿轮钢力学性能差和耐磨性差的问题,大幅提高航空齿轮钢表面的力学性能及摩擦学性能。具体研究内容如下:
(1)利用中频磁控溅射技术制备了系列TiSiN薄膜作为中间层,通过SEM、XRD、TEM、纳米压痕和四探针等表征手段分析了薄膜的内部结构、组成成分、力学性能和电学性能。结果表明:TiSiN是一种镶嵌在非晶基体中由晶粒组成的纳米复合材料,其中,TiN是TiSiN薄膜的显著相。TiSiN薄膜具有结合致密、分布均匀、表面平整和粗糙度低的优势。随着氮元素含量的增加,在TiSiN薄膜内形成Si3N4,可以有效地抑制TiN颗粒的长大,并细化薄膜表面的晶粒,显著地提高了薄膜的硬度TiSiN薄膜。通过优化氮气流量,在Ar/N2=30/10时,薄膜的硬度和弹性模量最优,分别达到16.2和149.3 GPa,TiSiN薄膜表现出极强的抵抗塑性变形的能力。然而,随着氮气流量的增加,TiSiN薄膜的电阻率增加,导电性能下降。
(2)利用中频磁控溅射技术制备了系列TiSi/TiSiN/TiSiC/a-C:H多层薄膜,研究了中间层对碳薄膜的结构和性能的影响。TiSi/TiSiN/TiSiC/a-C:H多层薄膜与衬底之间表现出良好的连续性和界面结合,同时,薄膜表面粗糙度较低。通过调节TiSiN中间层的氮含量,促进TiSiC薄膜sp2-C向sp3-C的转变,以提高薄膜的力学性能。在Ar/N2=30/10时,TiSiC薄膜具有最高的硬度(9.3 GPa)和最好的结合力(12.52 N)。a-C:H薄膜在氮气流量为10 sccm时,具有最高的硬度(15.50GPa)和弹性模量(125.60 GPa)以及最优的结合力(13.4 N)。所有样品的摩擦系数均低于0.1,特别是在氮气流量为10 sccm时,薄膜的摩擦系数达到最小值为0.032。较无氮样品,加入中间层TiSiN的含氢碳薄膜摩擦系数均降低,表明中间层TiSiN薄膜能够使含氢碳薄膜具有较优的减摩性能。在氮气流量为10 sccm样品中,其磨损率最小为1.8×10-17 m3/N·m,其余样品的磨损率也均在10-17 m3/N·m数量级,具有较小的磨损率。在摩擦过程中,a-C:H薄膜发生sp3-C结构向sp2-C发生转变,滑动界面的sp2-C团簇尺寸增加,石墨化程度变高,这有利于减摩和降低磨损率。因此,高机械强度和高石墨化转移膜是低摩擦学性能的决定因素。
(3)利用空心阴极放电技术和中频磁控溅射技术对齿轮钢(16Cr3NiWMoVNb)进行氮离子注渗后及表面低摩擦碳薄膜沉积。结果表明样品在空心阴极放电中成功氮化以及注渗复合碳薄膜表面粗糙度减小,该薄膜结构致密稳定不易被氧化。氮离子注渗后,齿轮钢表面氧化物含量减少,在表面形成氮化物。表明氮化物对齿轮钢具有保护钝化作用,防止齿轮钢表面发生氧化。因此,注渗钢表面沉积低摩擦碳薄膜可以使钢表面的稳定性能提高。与原始钢相比,注渗钢表面硬度得到大幅度提升,摩擦系数没有明显变化。但是,注渗钢复合碳薄膜样品的摩擦系数具有明显的降低,最优样品磨损率为7.4×10-16 m3/N·m,相较原始样品降低了近两个数量级。经拉曼分析,高石墨化转移是降低摩擦磨损的主要原因。因此,离子注渗和碳薄膜双重技术对改善航空齿轮钢的力学和摩擦学性能具有重要意义。