摘要： 作为物联网与人工智能领域的核心技术，感知传感与微纳系统集成是推动上述领域微型化、智能化、高度集成化的关键。以微纳机电系统(MEMS/NEMS)为代表的微电子学、集成电路等学科方向的深入发展，为上述技术的创新提供了重要支撑。但该领域的进一步深入发展和应用，仍亟需解决异质异构集成、多模态融合感知、多参量单片集成、传感功能一体化等关键技术难点，需要在新型半导体材料、新型异质异构集成、新型复合集成机理、新型微纳跨尺度制造等方向推陈出新。为进一步推动智能微纳感知与微系统集成领域新机理、新方法、新材料、新技术的创新研究，《太赫兹科学与电子信息学报》计划于2025年12月推出“智能微纳感知与微系统集成”专题栏目，现特向广大专家学者征集符合该专题方向的原创性研究论文及综述，旨在集中反映该领域最新的研究成果及研究进展。

关键词： 异构集成   多模态融合   人工智能   系统集成   物联网   原创性研究   新型半导体   专题栏目  

摘要： 作为物联网与人工智能领域的核心技术,感知传感与微纳系统集成是推动上述领域微型化、智能化、高度集成化的关键。以微纳机电系统(MEMS/NEMS)为代表的微电子学、集成电路等学科方向的深入发展,为上述技术的创新提供了重要支撑。但该领域的进一步深入发展和应用,仍亟需解决异质异构集成、多模态融合感知、多参量单片集成、传感功能一体化等关键技术难点,需要在新型半导体材料、新型异质异构集成、新型复合集成机理、新型微纳跨尺度制造等方向推陈出新。为进一步推动智能微纳感知与微系统集成领域新机理、新方法、新材料、新技术的创新研究,《太赫兹科学与电子信息学报》计划于2025年12月推出“智能微纳感知与微系统集成”专题栏目,现特向广大专家学者征集符合该专题方向的原创性研究论文及综述,旨在集中反映该领域最新的研究成果及研究进展。

关键词： 粗化处理   纳米铜颗粒   超低轮廓   剥离强度   添加剂  

摘要： 目的随着5G通信高频高速传输技术的发展,亟需开发出低轮廓、高剥离、微细纳米铜颗粒结构的电子铜箔,以满足5G材料低介电、低损耗的要求。方法开发了一种复合添加剂的粗化液体系,通过脉冲电沉积制备了低轮廓电子铜箔,表面形成了微纳米铜颗粒。利用扫描电子显微镜、接触角测试、激光共聚焦显微镜和电化学测试等技术手段表征了脉冲占空比和复合添加剂粗化对纳米铜颗粒形貌、铜箔表面粗糙度和剥离强度的影响。结果调节脉冲占空比能有效控制纳米铜颗粒微观形貌。当占空比为20%、40%和60%时,平均尺寸小于80 nm,纳米铜颗粒微观形貌差异不明显,均呈现出近似圆球状的形貌。占空比为80%的条件下,得到了平均尺寸为59 nm的圆球状纳米级微细瘤点。此时铜箔表面粗糙度Rz为0.817μm,剥离强度为0.95 N/mm。此外,复合添加剂使纳米铜颗粒平均粒径从274 nm降低至77.4 nm。电化学测试发现,加入复合添加剂后极化曲线由-0.49 V正移至-0.39 V,这说明复合添加剂的加入能够显著提升镀液的去极化能力。结论当脉冲占空比为80%时,颗粒尺寸最小,铜箔同时具有极低轮廓与高剥离强度的性能。复合添加剂体系能够有效细化纳米铜颗粒,稳定其形貌。对高频高速传输中降低信号传输损耗具有重要意义。

关键词： Ⅲ族氮化物   垂直腔面发射激光器   空穴注入效率   微纳米结构   应变补偿DBR   电子阻挡层  

摘要： 氮化镓(GaN)基微纳米结构生长技术的成熟为微纳级GaN基垂直腔面发射激光器(VCSEL)的制备提供了新的途径。本文设计了基于GaN基轴向异质结微纳米柱的微纳级VCSEL结构,采用Al_(0.8)Ga_(0.2)N/In_(0.2)Ga_(0.8)N应变补偿结构作为上下分布式布拉格反射镜(DBR),其中Al_(0.8)Ga_(0.2)N层的Al组分远高于传统结构中的电子阻挡层(EBL),能够更好地起到电子阻挡的作用。本文使用商用软件PICS3D构建了电子阻挡层处于不同位置的VCSEL数理模型,并进行数值模拟计算,探索和分析物理机理,解释了不同位置EBL对空穴注入效率的影响。结果表明,采用Al_(0.8)Ga_(0.2)N与In_(0.2)Ga_(0.8)N组成的应变补偿DBR可以更好地提高空穴注入效率,优化器件光电性能。

关键词： 有限合伙   合伙企业   收购   股份   间接持有   微电子   上海  

摘要： 6月23日,纳芯微发布公告披露,公司拟以现金方式收购上海矽睿科技股份有限公司直接持有的麦歌恩62.68%的股份,拟以现金方式收购矽睿科技通过上海莱睿企业管理合伙企业(有限合伙)间接持有麦歌恩5.6%的股份,合计收购麦歌恩68.28%的股份,收购对价合计约为6.83亿元。

关键词： 微纳电子技术   新兴产业发展   高新技术   交流平台   融合创新发展   学术研讨会   更新换代   学科领域  

摘要： 微纳电子技术涉及电子、机械、物理、化学、生物、医学、材料、制造、测试等多学科领域,是一门多学科交叉渗透和综合的高新技术,是未来技术更新换代和新兴产业发展的重要基础。为进一步推动我国微纳电子技术的快速发展,为大家提供一个了解国内外微纳电子技术最新发展动态的交流平台。

关键词： 科研人员   微纳电子技术   新兴产业发展   技术研究人员   大会主题报告   高新技术   交流平台   高校师生  

摘要： 微纳电子技术涉及电子、机械、物理、化学、生物、医学、材料、制造、测试等多学科领域,是一门多学科交叉渗透和综合的高新技术,是未来技术更新换代和新兴产业发展的重要基础。为进一步推动我国微纳电子技术的快速发展,为大家提供一个了解国内外微纳电子技术最新发展动态的交流平台,“第十七届中国微纳电子技术交流与学术研讨会暨2024年微纳电子产业融合创新发展论坛”定于2024年5月10—12日在宁波开元名都大酒店举行。大会特邀微纳电子技术领域的知名专家、教授及企业代表等作大会主题报告,欢迎广大科研人员、高校师生以及产业界技术研究人员积极参与。

关键词： 科研人员   微纳电子技术   新兴产业发展   技术研究人员   大会主题报告   高新技术   交流平台   高校师生  

摘要： 微纳电子技术涉及电子、机械、物理、化学、生物、医学、材料、制造、测试等多学科领域,是一门多学科交叉渗透和综合的高新技术,是未来技术更新换代和新兴产业发展的重要基础。为进一步推动我国微纳电子技术的快速发展,为大家提供一个了解国内外微纳电子技术最新发展动态的交流平台,“第十七届中国微纳电子技术交流与学术研讨会暨2024年微纳电子产业融合创新发展论坛”定于2024年5月10~12日在宁波开元名都大酒店举行。大会特邀微纳电子技术领域的知名专家、教授及企业代表等作大会主题报告,欢迎广大科研人员、高校师生以及产业界技术研究人员积极参与。

关键词： MXenes   微纳电子   薄膜   微纳加工   合成   晶体管   专题评述  

摘要： 超薄的过渡金属碳氮化合物MXenes,作为一大类新兴二维(2D)材料,是当前材料研究热点方向之一。自2D材料发现至今已有近20年,以石墨烯、过渡金属硫族化合物、黑磷等为代表的2D材料在微纳电子领域经历了相对广泛且深入的研究,MXenes自2011年诞生以来在微纳电子领域的研究也方兴未艾。MXenes拥有丰富的元素结构组成和独特的物理化学特性(表面亲水性、功函可调、官能团可调、电和离子快速传输特性、表面离子激元、光热电、电磁吸收等),使其在微纳电子领域具有潜在的应用前景。Alshareef课题组近几年致力于将MXene引入到微纳电子领域,并在2019年用MXetronics来定义MXene电子学这一新兴的学术领域。本文简要总结和评价了该领域的代表性进展,梳理了包括微电子级的合成、加工、物性探索和器件应用等方面面临的挑战,最后指出一些关键的研究方向和尚未探索的细分领域。

关键词： 微电子技术   纳米技术   应用   光电子   电子器件   研究  

ISBN: (纸本)9787030695079

摘要： 本书内容涵盖各类基于新型材料和结构的光电子器件，采用超构材料、电光材料、磁光材料、热光材料及二维材料设计和制备了包括调制器、光开关、滤波器、传感器、光场调控器件在内的光电子器件。这些光电子器件的提出拓展了一些崭新物理现象的应用领域，如光自旋霍尔效应、磁光古斯-汉森效应等。本书可作为光学、光电子技术和光通信等专业的高年级本科生、研究生，以及相关专业研究人员的参考书。