关键词： 微纳加工技术   优势   电子器件领域   应用  

摘要： 微纳加工技术在集成电路技术的应用中占据着重要的地位,为了满足相关工业领域的要求,需要寻找出新透镜、短光源、高精度的加工技术,而微纳加工技术就是其中的首选。本文主要针对微纳加工技术在微纳电子器件领域的应用进行分析。

关键词： SPM技术   精密测量   微纳电子器件   材料表征  

摘要： 测量过程中,测量的准确程度与测量仪器间的作用力是极其重要的,为此需准确测量微纳尺度材料的机械、电子、磁、光以及化学特性.同时,扫描探针显微镜(Scanning Probe Microscope,SPM)及其相关技术拥有确定探针针尖与样品间作用力的能力,因此,本文主要就微纳尺度的高精度SPM测量技术及仪器做一简单的介绍和回顾.首先介绍了原子力显微镜(Atomic Force Microscope,AFM)、扫描隧道显微镜(Scanning Tunnel Microscope,STM)及其相关技术原理,其次重点介绍了常温/低温STM、自旋极化(Spin Polarization,SP)-STM、AFM等仪器本身的关键技术及搭建难点,并介绍了运用上述仪器取得的典型成果;再次,介绍了国内外运用极端环境(超低温、超高真空)与常温、大气环境的AFM、STM在特殊区域微纳尺度测量、基于探针技术的微纳电子器件表征与控制,以及SPM操控技术的典型成果最新进展;最后,介绍了本研究小组运用超高真空AFM在磁性材料表征与测量方面的进展.总之,通过本文对SPM高精度测量及其应用的回顾与介绍,对SPM的关键组成部分、关键技术及最新发展有了更深的认识.SPM的先进性、用户的友好体验以及具有鲜明应用指向性的特点,有望在原子/分子科学、纳机电系统(Nanoelectro Mechanical System,NEMS)等领域有重要的应用.

关键词： 超快激光微纳制造   电子动态调控  

摘要： 超快激光是指脉宽短于10 ps的激光,在制造过程中其作用时间、功率密度等趋于极端,具有超强(也就是非线性)、超快(也就是非平衡态)的独特优势。本研究提出了电子动态调控的核心思想。电子动态决定了材料的所有特性,包括它的光学、热力学、磁学、化学、电学特性等。超快激光的加工决定于光子与电子相互作用过程。超快激光脉冲可以激发、电离电子,从而改变辐照过程中的局部瞬时电子动态。在超快激光辐照过程中,电子密度的变化可以达到几个甚至上十个数量级,如此巨大的电子密度的变化使材料的瞬时局部特性也发生了巨大的变化。在超快激光辐照非金属过程中,辐照区域的非金属可呈很强的金属态,它的反射率从原来的接近于零变成了零点九几。这样强烈的材料瞬时局部特性的变化对激光光场进行了显著重整:激光在达到自由电子临界密度之前是高斯分布;当自由电子密度达到临界密度之后,多数光都被反射了。所以,我们通过设计激光光场时空分布以调节光子与电子的相互作用过程。当我们将一个超快激光脉冲分成两束来调节子脉冲间的延迟,就可以调节电子电离过程,从而改变瞬时局部状态。此时仅仅调节一个简单的参数——子脉冲间的延迟,就可以使自由电子的密度分布产生巨大变化。在不同延迟下,峰值自由电子密度变化非常的剧烈。相应的,在不同延迟下材料的瞬时局部特性变化也非常大。同样的,通过调整延迟,激光能量的吸收情况分布变化也非常大。所以,通过改变脉冲延迟,可使自由电子密度、材料的瞬时局部特性、激光透射能量分布等产生巨大变化。通过超快脉冲时空整形,调控电子-电子相互作用过程,进而局部调控电子瞬时状态(密度温度激发态分布等),从而调控材料瞬时局部特性,进而调控材料相变过程,实现全新的目标制造方法。我们建立了超快激光与材料相互作用的多尺度量子理论模型,提出了电子动态调控超快激光微纳制造新方法,通过设计超快激光能量时域及空域分布,调控加工过程中的能量吸收、传递及材料相变过程,进而提高加工质量、精度。此外,搭建了多时间尺度电子动态实时观测系统,观测超快激光微纳加工过程中的材料瞬时局部折射率、等离子体强度等,优化加工参数,实现了对局部瞬时电子动态的主动调控,并应用于国家重大需求关键核心构件的加工工艺中,开启了电子层面调控的新机理和新方法研究。

关键词： 电子显微镜   材料界面   中国工程院   教育部重点实验室   南京工业大学   材料研究学会   世界   太原理工大学  

摘要： 2016年9月25-26日“2016新材料国际发展趋势高层论坛--材料界面、微纳论坛”在南京国际青年文化中心成功举办。本次论坛由太原理工大学新材料界面科学与工程教育部重点实验室、南京工业大学材料分析测试中心等承办，中国工程院化工、冶金与材料工程学部、中国材料研究学会、中国电子显微镜学会、材料学术联盟共4家单位联合协办。

关键词： 学术会议   光电子   光学  

摘要： 第5届国际光电子和微纳光学进展学术会议（The 5th International Conference on Advances in Optoelectronics and Micro/Nano-Optics）于2015年10月28～31日在杭州举行。

关键词： 硅基微纳光电子器件   硅基光电子元件   MEMS可调谐激光器  

摘要： 由于硅基加工工艺目前发展较为成熟、硅基光电子元件的制造成本相对较低且具有较理想的光电混合继承性能,所以硅基光电子元件现阶段在光纤通信方面的应用较为普遍,特别是其向微纳米机电系统的深化,使其应用的空间更加广阔,在此背景下,本文以目前较为成功的几个关键硅基微纳光电子器件为例,针对硅基微纳光电子器件展开研究,为对其更加全面的认识做出努力。

关键词： 运载火箭   发射模式   微纳卫星   电动   电子   商业   实验室   新西兰  

摘要： 7月，美国行星实验室公司与美国-新西兰火箭实验室公司签署合同，将采用火箭实验室公司研制的“电子”电动火箭。

关键词： 耦合激励   电子注   微纳缝阵列   表面等离子体激元  

摘要： 提出了一种电子注激励表面等离子体激元(SPPs)的新机制。平行运动电子注首先激励微纳缝阵列上的仿表面等离子体激元(MSPPs),以被激励的MSPPs为源耦合激励金属表面的相干可调的SPPs。数值计算与粒子模拟的结果表明该激励方式对于激励SPPs具有重大的优势。基于这种机制,SPPs能被距离金属表面任意远的电子注有效激励耦合。耦合激励的SPPs的衰减时间与被激励的MSPPs一致,其场幅值比同等条件下电子注直接激励的SPPs场幅值大两个数量级。因此,这种新的激励机制可能对SPPs的应用具有重大意义。

ISBN: (纸本)9787567217591

关键词： 电子侦察   微纳卫星   无源定位   自组织组网   数据压缩   微型化  

摘要： 基于微纳卫星的电子侦察还处于起步阶段,许多问题亟需解决。讨论了微纳卫星组网电子侦察定位三个方面的若干关键技术,分别是电子侦察基本架构、载荷硬件架构和星间组网通信。在提出松耦合和紧耦合组网侦察定位架构的基础上,讨论了对地面和空中动目标的定位方法以及载荷实现相关的关键技术,给出了一种星间链路方案,提出了一种基于参数的中频数据压缩方法,可为微纳卫星电子侦察技术的发展提供一些参考。