关键词： 电流体印刷技术   印刷模式   稳定喷射打印   按需打印   喷印参数   高导互联   薄膜晶体管   传感器  

摘要： 近年来，喷墨打印技术作为一种新兴的增材制造技术，具有非接触式加工、无需掩模、高精度及直接图形化等优点，在可穿戴设备、电子皮肤和生物医学电子等领域受到了广泛关注。然而，传统的热泡或压电喷墨打印技术受限于喷嘴口径和墨水粘度，其制造精度通常难以突破20μm，无法满足高精度微纳电子制造的需求。相比之下，电流体印刷技术凭借更高的分辨率、更广泛的墨水兼容性及多样化的打印模式，在微纳尺度的图案制造方面展现出巨大潜力，可用于制备精细的点、线、面等复杂图案，推动微纳电子制造的发展。尽管如此，电流体印刷技术仍面临诸多挑战。例如，在印刷过程中，流体行为受到电场、流场及环境因素的复杂影响，导致工艺参数调控困难、印刷过程不稳定，进而影响图案的分辨率及重复性，这些问题限制了该技术在高精度微纳电子制造中的进一步应用。因此，为了实现高质量、高稳定性的电流体印刷，系统总结了电流体印刷技术在微纳电子制备中的最新进展，并分析了影响其加工精度和稳定性的关键因素。基于电流体印刷技术的发展历程及基本原理，探讨了两种不同流体（牛顿流体和粘弹性流体）特性墨水的常见印刷模式，并分析了各类墨水的适用性。针对稳定喷射打印和按需打印两种主要模式，分别阐述了影响其性能的关键参数及优化调控方法，并总结了实现高质量图案制造的有效策略。介绍了电流体印刷技术在高导互联网络、薄膜晶体管和传感器等微纳电子方面的研究与应用，并对电流体印刷技术的发展趋势进行了展望，重点讨论了影响其制造精度、稳定性及应用拓展的核心因素，同时提出了可行的优化策略，以促进该技术在微纳电子制造领域的进一步发展。

关键词： 真空微纳电子器件   场发射   纳米沟道   弹道输运   真空电子学  

摘要： 真空微纳电子器件(VMNEDs)凭借其高速运行、耐高温、抗辐射及极端环境适应性等独特优势,已成为极端环境电子学领域的研究热点。本文系统综述了真空微纳电子器件的发展历程、理论基础、技术进展及未来前景,重点探讨其作为传统真空管与固态器件桥梁作用的潜力。将VMNEDs与微机电系统(MEMS)和光子电路集成,有望推动航空航天、能源与量子技术领域的多功能高可靠性系统发展。结合理论见解与实验成果,提出了面向极端环境的新一代电子器件的技术路线图。

关键词： 新工科   案例导向型教学模式   生物医疗微纳电子学   集成电路   交叉学科  

摘要： 生物医疗微纳电子学是新工科背景下集成电路技术发展的下一个重大机遇,为能在国际竞争中占据有利地位,高校人才培养机制体制须准确把握时代脉搏。该文基于高等教育的实践性,以生物医疗微纳电子技术为例,探索出案例导向型教学模式,系统阐述其相较于传统工科教学模式的优势,通过实际教学中脑机接口章节,对案例导向型教学模式从实施到考评的整个过程予以分析。结果表明新模式能有效提升学生学习积极性和参与度,加强学生发现和解决实际工程问题的能力,培养面向未来多元化的创新型工程人才,提升我国在复杂国际局势下的竞争力。

关键词： 微电子学   微系统集成   人工智能  

摘要： 作为物联网与人工智能领域的核心技术,感知传感与微纳系统集成是推动上述领域微型化、智能化、高度集成化的关键。以微纳机电系统(MEMS/NEMS)为代表的微电子学、集成电路等学科方向的深入发展,为上述技术的创新提供了重要支撑。但该领域的进一步深入发展和应用,仍亟需解决异质异构集成、多模态融合感知、多参量单片集成、传感功能一体化等关键技术难点,需要在新型半导体材料、新型异质异构集成、新型复合集成机理、新型微纳跨尺度制造等方向推陈出新。为进一步推动智能微纳感知与微系统集成领域新机理、新方法、新材料、新技术的创新研究,《太赫兹科学与电子信息学报》计划于2025年12月推出“智能微纳感知与微系统集成”专题栏目,现特向广大专家学者征集符合该专题方向的原创性研究论文及综述,旨在集中反映该领域最新的研究成果及研究进展。

关键词： 微电子学   微纳系统集成   人工智能  

摘要： 作为物联网与人工智能领域的核心技术,感知传感与微纳系统集成是推动上述领域微型化、智能化、高度集成化的关键。以微纳机电系统(MEMS/NEMS)为代表的微电子学、集成电路等学科方向的深入发展,为上述技术的创新提供了重要支撑。但该领域的进一步深入发展和应用,仍亟需解决异质异构集成、多模态融合感知、多参量单片集成、传感功能一体化等关键技术难点,需要在新型半导体材料、新型异质异构集成、新型复合集成机理、新型微纳跨尺度制造等方向推陈出新。

关键词： 微纳静电打印   电子材料与工艺   先进功能电路   电子增材制造  

摘要： 随着电子器件向小型化、集成化、多功能化方向发展,传统电子制造技术在制造精度、材料适应性、工艺灵活性等方面暴露出局限性,而静电打印技术已发展为微纳电子增材制造的一种新手段,故综述了微纳电子静电打印的技术原理、材料工艺及潜在应用。首先,阐述该技术的基本原理,着重介绍了微滴喷射、泰勒锥射流两种打印模式;接着,探讨金属纳米材料油墨、金属前驱体油墨和液态金属等不同电子材料的静电打印工艺特点和适用范围;最后,总结该技术在微纳电路、柔性电子、曲面电子及生物传感等领域的最新应用研究,并展望其未来研究方向,以促进静电打印技术在微纳电子领域的技术发展。

关键词： 科研人员   微纳电子技术   新兴产业发展   技术研究人员   微纳器件   大会主题报告   高新技术   应用领域  

摘要： 微纳电子技术涉及电子、机械、物理、化学、生物、医学、材料、制造、测试等多学科领域,是一门多学科交叉渗透和综合的高新技术,是未来技术更新换代和新兴产业发展的重要基础。为进一步推动我国微纳电子技术的快速发展,为大家提供一个了解国内外微纳电子技术最新发展动态的交流平台,“第十八届中国微纳电子技术交流与学术研讨会暨2025年微纳器件技术融合创新发展论坛”定于2025年5月16—18日在合肥世纪金源大饭店举行。大会特邀微纳电子技术及其交叉融合创新应用领域的知名专家、教授及企业代表等作大会主题报告,欢迎广大科研人员、高校师生以及产业界技术研究人员积极参与。

关键词： 异构集成   多模态融合   人工智能   物联网   新型半导体   多参量   系统集成   高度集成化  

摘要： 作为物联网与人工智能领域的核心技术,感知传感与微纳系统集成是推动上述领域微型化、智能化、高度集成化的关键。以微纳机电系统(MEMS/NEMS)为代表的微电子学、集成电路等学科方向的深入发展,为上述技术的创新提供了重要支撑。但该领域的进一步深入发展和应用,仍亟需解决异质异构集成、多模态融合感知、多参量单片集成、传感功能一体化等关键技术难点,需要在新型半导体材料、新型异质异构集成、新型复合集成机理、新型微纳跨尺度制造等方向推陈出新。

关键词： 人工智能   物联网   系统集成   高度集成化   太赫兹   微纳机电系统   微电子学   集成电路  

摘要： 作为物联网与人工智能领域的核心技术,感知传感与微纳系统集成是推动上述领域微型化、智能化、高度集成化的关键。以微纳机电系统(MEMS/NEMS)为代表的微电子学、集成电路等学科方向的深入发展,为上述技术的创新提供了重要支撑。但该领域的进一步深入发展和应用。

关键词： 微纳电子技术   新兴产业发展   微纳器件   高新技术   交流平台   融合创新发展   学术研讨会   论坛  

摘要： 微纳电子技术涉及电子、机械、物理、化学、生物、医学、材料、制造、测试等多学科领域,是一门多学科交叉渗透和综合的高新技术,是未来技术更新换代和新兴产业发展的重要基础。为进一步推动我国微纳电子技术的快速发展,为大家提供一个了解国内外微纳电子技术最新发展动态的交流平台,“第十八届中国微纳电子技术交流与学术研讨会暨2025年微纳器件技术融合创新发展论坛”定于2025年5月16—18日在合肥世纪金源大饭店举行。