关键词:
柔性平台
柔顺机构
应力刚化
位移测量
状态观测器
摘要:
随着纳米技术等新兴科技的跨越式发展,以扫描探针显微镜、微/纳增材制造系统等为代表的超精密科学仪器装备在半导体工程、微机电系统、光电通讯、生物医学、精密制造等领域得到了日益广泛的应用,并展现出了巨大的科学价值、经济价值和社会价值。而实现超高运动精度的柔性微/纳米操作系统逐渐成为上述领域中的关键共性技术和相关高科技产业及交叉学科范围内的研究热点。与此同时为了满足日益多样化和复杂化的技术需求,需要开发具有更大运动范围(毫米级)和更高精度的微/纳米操控系统。针对上述挑战,本文以大行程柔性并联平面微动平台为研究对象,首先在柔顺板簧构件弹性变形与边界约束耦合机理基础上,深入研究柔顺机构(导向机构)的精确建模方法,建立准确描述机构应力刚化效应的力学模型,进一步提出柔性微动平台的构型设计并进行相关性能测试分析。然后进行了基于激光干涉仪的平面位移测量方法的改进,有效抑制了寄生旋转运动和轴间载荷耦合效应带来的测量误差,为实现微动平台多轴协同并联平面运动控制过程中的位移测量提供基础。最后探索面向纳米平面运动的控制算法,有效补偿了柔性微动平台运动过程中的轴间耦合应力刚化问题,实现了高精度的平面运动控制。主要研究内容如下:首先,在Euler-Bernoulli梁理论基础上,从以单一柔顺板簧为代表的柔性构件出发,考虑轴向/横向/弯矩载荷和各方向的变形关系,得到了描述弹性构件应力刚化效应的运动静力学显式表达式。并进一步考虑了柔顺板簧构件承受的边界条件,得到了平行四杆导向机构的位移-载荷模型。以具有对称边界约束条件的复合平行四杆导向机构为例进行了热/刚度耦合分析,得到了在不同热载荷条件下可以准确描述机构变形过程中的变刚度行为的误差解析模型。考虑了双平行四杆导向机构中间刚体带来的复杂结构和边界约束,进行了该类结构的运动静力学建模。其次,针对可实现毫米级行程的高精度平面运动柔性微动平台的构型设计,提出了运动学解耦的4-PRP并联平台构型。并在完成平台实验系统搭建的基础上,分别对柔性平台的正反向输入-输出特性、工作范围、阶跃响应和谐响应等进行了实验测试,并分析了柔性平台在匀速/非匀速条件下的迟滞现象、轴间耦合率以及固有频率等特性。再次,在柔顺板簧构件/机构的理论基础上结合柔性平台的构型特点,对提出的柔性平台进行了力学建模与分析工作。根据平台的结构和功能划分,分别对柔性支撑和导向机构进行静力学建模,并利用刚度矩阵组合方法得到平台整体静力学模型。然后基于动力刚度矩阵、柔性体振动分析和模态分析理论分别对柔性平台的基本结构单元进行了动力学分析,最后通过动力刚度矩阵组装的方法得到柔性平台整体的动力学模型,为后文的控制算法研究提供模型基础。然后,面向柔性微动平台大范围(毫米级)平面动态运动过程中存在运动位移测量误差的问题,将光学直角棱镜光路反射与激光光束光程差干涉原理相结合,进行了激光反射光路的改进,实现了微动平台直线运动位移与转角位移的分离,保证了平面大范围运动过程中平台位移的准确测量。最后,考虑到柔性微动平台在进行多轴协同平面运动控制过程中由于轴间耦合应力刚化带来的变刚度问题,设计了基于Kalman型观测器结构并含有指数遗忘因子的离散自适应扩张状态观测器(AESO),同时结合协同控制理论(SCT)和观测器结构来实现微/纳尺度下的多轴运动控制,并完成了 AESO的收敛条件和闭环系统鲁棒稳定性的理论证明。在柔性平台实验系统上分别对提出的控制算法与现有方法(如PID、ADRC和H∞)进行了对比性实验,结果显示该算法具有显著的优越性。