关键词:
压电陶瓷驱动器
桥式柔顺放大机构
静/动力学建模
有限元仿真
分数阶控制
摘要:
压电驱动微定位平台作为精密机械与精密仪器的关键部件,在原子力显微镜中的样品定位、生物学中的单分子微操作、半导体制造中的光对准和芯片光刻封装等方面有着重要应用。然而压电陶瓷驱动器的输出位移很小,一般只有几十微米,因此在很多大行程应用场合中需要对压电陶瓷驱动器的输出位移进行放大。目前,压电驱动微位移放大技术主要采用柔顺放大机构,柔顺机构具有高精度、无摩擦、免装配、可整体加工等优点,已成为国内外研究的重点与热点。本文首先构建了椭圆形桥式柔顺放大机构的解析模型,另外设计了一种嵌入Scott-Russell机构的新型复合桥式柔顺位移放大机构,在此基础上构建了二自由度新型解耦的柔顺微定位平台,并对该平台进行了分析、测试和控制,具体研究工作如下:
(1)利用应变能和卡式第二位移定理建立了椭圆形桥式柔顺放大机构的位移放大比和输入刚度的解析模型。基于拉格朗日方程法,建立了描述放大机构振动微分方程的广义坐标系,得到了放大机构沿其工作方向的固有频率。为了进行充分比较,设置了六组具有不同材料参数、尺寸和驱动力的样品。通过有限元分析和实验测试,得到了每个试件的位移放大比、输入刚度和固有频率,结果表明,解析模型与有限元分析模型的最大误差在8.25%以内,实验结果的最大误差在6.25%以内。
(2)针对传统桥式放大机构固有频率低,侧向承载力小等问题,提出了一种在桥臂中嵌入Scott-Russell机构的新型复合桥式柔顺位移放大机构,在此基础上,设计、分析和测试了一种新型解耦的柔顺XY微定位平台。新型放大机构的主要特点是采用Scott-Russell机构代替复合桥式机构的一根桥臂,以提高其输出端横向刚度和工作方向的固有频率。柔顺XY微定位平台由两个新型的正交分布Scott-Russell复合桥式放大机构驱动,并在其输出端的周围增加了双平行四边形导向机构,以进一步降低XY微定位平台的寄生运动。然后,基于刚度矩阵传递法建立了工作台静动态特性的分析模型,并通过有限元分析进行了验证。最后,对线切割加工制作的XY微定位平台样机进行静态和动态性能测试。测试结果表明,工作空间为181.0μm×179.5μm,运动分辨率为20 nm,最大耦合误差为1.07%。未安装或安装压电陶瓷驱动器时,XY平台沿其工作方向的固有频率分别为178 Hz和248 Hz。
(3)提出了基于一种分数阶零相位误差前馈控制和分数阶PIλ控制的复合控制策略来进一步提高二自由度解耦微定位平台的定位精度以及轨迹跟踪能力。然后,基于频率响应,设计了分数阶PIλ控制器。此外,通过在大频率范围内获得分数阶闭环系统的逆,设计了一个分数阶零相位前馈控制器。校正后的控制系统在宽频带内增益为1,以消除闭环控制系统中的相位误差。轨迹跟踪的实验结果表明,所提出的新型二自由度解耦微定位平台能够拥有良好的定位精度以及轨迹跟踪能力,同时也验证了基于分数阶零相位误差前馈控制和分数阶PIλ控制的复合控制策略的有效性。