关键词:
SnO2/Si异质结
气体传感器
Ag纳米颗粒
SnO2/In2O3复合薄膜
摘要:
二氧化锡(SnO2)是目前使用最广泛的气敏材料之一,其晶体结构属于四方晶系的金红石结构,具有较好的可靠性和机械性能,且对检测气体可逆。SnO2纳米薄膜具有比表面积较大、能耗较低、易与其它平面工艺相结合的优点,是制备集成化微型气体传感器的理想材料。本文采用磁控溅射法在p-Si衬底上沉积一层致密的SnO2纳米薄膜,形成SnO2/Si异质结,并通过在SnO2薄膜表面负载Ag纳米颗粒和复合金属氧化物In2O3提高传感器的灵敏度,缩短响应/恢复时间,主要研究内容与结果如下:首先,通过控制实验参数制备不同溅射压强、薄膜厚度和溅射功率的SnO2薄膜,分析不同参数对薄膜质量的影响。实验将溅射功率调置30 W,溅射压强分别设置为0.1 Pa、1.0 Pa、2.5 Pa,实验结果表明,在溅射压强为2.5 Pa时,异质结有较好的气敏特性,综合性能最优。在溅射压强为2.5 Pa时,改变薄膜的厚度,将SnO2薄膜的厚度分别设置为25 nm、40 nm、60 nm、80 nm,通过实验数据可知,当薄膜厚度在40 nm时,对测试气体的响应最佳,气敏性能最优。其次,采用磁控溅射法在SnO2薄膜表面沉积一层金属Ag,通过退火形成Ag纳米颗粒。实验结果表明,室温下,负载Ag颗粒后的薄膜提升了对乙醇和丙酮的灵敏度,当Ag的溅射时长为80 s时响应值最高;当测试温度为300℃时传感器对乙醇的响应值最高,且具有较好的重复性,对10 ppm的乙醇的响应值可达2.0,有良好的检测下限和选择性。最后,通过在SnO2薄膜表面沉积不同厚度的In2O3得到不同膜厚比的复合薄膜(SnO2与In2O3比例分别为1:1、2:1、3:1、4:1)。实验结果表明,室温下,复合薄膜对乙醇灵敏度显著提升,对反应气体的响应/恢复时间显著减少;当测试温度为400℃时对乙醇的响应值最高,且不同比例复合的薄膜均具有良好的重复性,对10 ppm的乙醇气体的响应值可达到4.5。综上,本文研究了SnO2/Si异质结的室温和升温后的气敏特性、负载金属Ag纳米颗粒和复合金属氧化物对单一SnO2气体传感器气敏性能的改进,为制备高灵敏度、低功耗的传感器提供参考。图45幅,表7个,参考文献81篇。